雙頻激光外差干涉儀

一、概述

sj6000雙頻激光外差干涉儀是以光波為載體，以光波波長為單位的一種計(jì)量、檢測儀器，通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，可以實(shí)現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何量的精密測量；在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量，可以進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。

中圖儀器SJ6000雙頻激光外差干涉儀以技術(shù)實(shí)力為依據(jù)，在測量精度、測量速度、測量類型等方面，為用戶提供了更多選擇。

二、SJ6000功能特點(diǎn)

1、測量精度高：以激光干涉技術(shù)為核心，分辨率可達(dá)納米*；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，解決溫度、空氣壓力、相對濕度、材料溫度等環(huán)境因素對測量結(jié)果的影響；使用激光熱穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，*證激光長期穩(wěn)頻精度；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱變形，*證干涉光路穩(wěn)定。

2、具有實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度等幾何量的檢測功能。可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備運(yùn)動導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等；同時也能檢測運(yùn)動導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、垂直度和直線度；并且可滿足回轉(zhuǎn)軸分度精度的測量。

3、可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，滿足機(jī)床誤差修正的要求。

4、具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能，可進(jìn)行機(jī)床振動測試與分析，滾珠絲桿的動態(tài)特性分析，驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析，導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析等。

5、內(nèi)置各種類國標(biāo)（GB）、ISO（）、BS（英制）、美標(biāo)、DIN（德標(biāo)）、JIS（日標(biāo)）等機(jī)床檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)?？梢罁?jù)各種機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并根據(jù)測量結(jié)果可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報告。

6、可自動監(jiān)測環(huán)境溫度、材料溫度、環(huán)境濕度和大氣壓力的參數(shù)?？蛇x擇手動或自動對波長進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

7、測量記錄采用集中式數(shù)據(jù)庫管理，可按被測件類型、生產(chǎn)單位、出廠編號、檢定員、送檢單位、設(shè)備編號、檢定日期和有效日期等查詢和管理檢定記錄；可將檢定數(shù)據(jù)輸出到Word、Excel、AutoCAD（選配）文檔。

8、安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

三、SJ6000技術(shù)參數(shù)

四、SJ6000使用說明

1、 必須定人保管，機(jī)加技術(shù)組人員專人，專人送檢，他人不得隨意動用，以防損壞，降低精度。
2、 要設(shè)置專庫存放，環(huán)境要求干燥、通風(fēng)、防震、防霧、防塵、防銹。儀器應(yīng)保持干燥。各種儀器均不可受壓、受凍、受潮或受高溫，儀器箱不要靠近火爐或暖氣管。
3、 對儀器要小心輕放，避免強(qiáng)烈的沖擊震動，安置儀器前應(yīng)檢查三腳架的牢固性，整個作業(yè)過程中工作人員不得離開儀器，防止意外發(fā)生。
4、 應(yīng)避免在溫度變化大、有風(fēng)、潮濕環(huán)境下測量，此時檢測結(jié)果將收到很大的影響。
5、 中圖所配用的筆記本為筆記本，該筆記本不得外借，也不能安裝任何其他軟件，防止軟件沖突和病毒，保障測量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確，以防測量數(shù)據(jù)丟失。
6、 測量人員在拿取干涉儀之前，需先填寫使用申請單，填寫申請表后，負(fù)責(zé)人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好。然后再得到部門簽字后，方可使用。對其他部門人員如借用，需填寫借用干涉儀使用申請單，負(fù)責(zé)人需先檢查干涉儀器件完整與否，器件是否良好。然后再得到部門簽字后，方可借用。當(dāng)干涉儀使用后，將要存庫時，負(fù)責(zé)人必須點(diǎn)清器件，且所有器件良好，此時才能將干涉儀入庫備案。
7、 負(fù)責(zé)人要每月對的器件進(jìn)行清點(diǎn)，并查看是否有損壞、磨損等異常情況，將檢查報告予以備案。

SJ6000雙頻激光外差干涉儀用途

1、激光干涉儀是檢定數(shù)控機(jī)床、坐標(biāo)測量機(jī)位置精度的理想工具，可按照規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)處理數(shù)據(jù)并輸出誤差曲線，為數(shù)控機(jī)床的誤差，修正提供可靠依據(jù)，現(xiàn)場使用尤其方便。
2、激光干涉儀配有各種附件，可測量小角度、平面度、直線度、平行度、垂直度等形位誤差。
3、激光干涉儀也是一種高精度位移傳感器，可直接用于高精度、大尺寸的動態(tài)位移測量系統(tǒng)。
4、激光干涉儀具有對光柵、磁柵、線紋尺、感應(yīng)同步器等精密測量元件的檢測和刻劃功能，可按預(yù)定的間距自動完成檢測和刻劃定位。